多弧离子反应镀膜设备可镀色彩

1.镀银灰色∶用钛靶材,真空镀抽至1.5×10-2Pa,充Ar(氩气)至1.0×10-1Pa左右镀三分钟左右.(产生Ti金属层)

2.镀银白色∶用铬靶材,真空度抽至1.0×10-2Pa,充Ar(氩气)至1.5×10-1Pa左右镀三分钟左右.(产生Cr金属层)

3.镀金色∶用钛靶材,真空度抽至1.5×10-2Pa,充Ar(氩气)至1×10-1Pa镀60秒—关氩气(Ar)—开氮气至2~4×10-1Pa镀4分钟左右.(产生TiN化合物)

4.镀古铜色∶用一半钛靶材,一半钛铝靶材,充Ar(氩气)至1×10Pa-1开钛靶镀50秒—关Ar(氩气)开氮气至1×10-1Pa—开钛靶、钛铝靶—充乙炔流量左右,氮气调至3×10-1Pa左右,镀4分钟(加热炉体至°C左右).(产生TiCN和TiN化合物)

5.镀玫瑰金色∶跟古铜色一样操作,只是乙炔在60流量左右,氮气调至2.5×10-1Pa左右(氮气、乙炔要同时加进去反应,乙炔要保持不变,真空度多少只调节氮气流量,古铜跟玫瑰金同样调节).(产生TiCN化合物)

6.镀五彩色∶用钛靶材,充Ar(氩气)至1.0×10-1Pa镀1分钟后,关氩气,开N氮气至2.5×10-1Pa镀70秒后关氮气,开氧气O2至4.5×10-1Pa镀秒左右,(产生TiO2、Ti2O3等氧化物)

7.镀珠光色∶用钛靶材,充O2(氧气)在6.5×10-1Pa~7.5×10-1Pa不变动,镀40秒左右即可,注意同时引弧,加热炉体至°C.(产生TiO2、Ti2O3等氧化物)

8.镀18K金色∶用锆靶材,充Ar(氩气)至1.0×10-1Pa镀30秒,关氩气,开氮气至2~4×10-1Pa左右镀3~4分钟即可.(产生ZrN化合物)

9.镀土豪金色∶装一半钛靶材,一半错靶材,充Ar((氩气)1.0×10-1Pa镀钛靶30秒后关氩气,开氮气至2~4×10-1Pa左右,开钛靶、锆靶,镀4分钟左右.(产生TiZrN化合物)

10.镀透明七彩色(AB彩)∶用钛靶材,充O2(氧气)至6.5~7.5×10-1Pa镀4分钟左右,加热炉户温°C.(产生TiO2、Ti2O3;TiO、等氧化物)

11.镀酒红色∶用铁靶材,充O2(氧气)至7.5~9.5×10-1Pa镀4~6分钟,加热炉温°℃左右,弧焊机电流在A左右(产生Fe2O3氧化物).

12.镀琥珀色∶用铁靶材,充O2(氧气)至7.5~9.5×10-1Pa镀1.5~2.5分钟,加热炉温℃左右,弧焊机电流在A左右.(产生Fe2O3氧化物)

13.镀宝石蓝色,用钛靶材,充Ar(氩气)至1.0×10-1Pa镀60秒后关氯气,开氮气-流量,同时开氧气-流量(真空控制在2.5~3.5×10-1Pa镀秒左右).(产生TiO2、Ti2O3、TiO、等氧化物和TiN化合物的混合膜层)

14.镀紫色∶同十三号工艺,充氮气和氧气的镀膜时间控制在60-70秒左右,真空在2.5~3.8×10-1Pa左右即可.

15.镀铬黑色∶用钛Ti和铬靶材,先充入氩气Ar在1×10-1Pa镀60秒左右,关钛靶,开铬靶,关小氯气至80-流量再通入CH乙快气至8~9.0×10-1Pa,镀秒左右.(产生CrC黑色膜层)

16.镀枪黑色∶用钛靶材,充入Ar气在1.0×10-1Pa镀60秒后,关小氩气至80-流量,再通入CH乙炔气在8~9×10-1Pa镀秒左右.(产生TiC化合物膜层)。




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